Request a solution
We distribute this product only in the Czech Republic and Slovakia.
For other countries, we deliver this product exclusively within integrated projects.
PHYSIK INSTRUMENTE - Logo
PHYSIK INSTRUMENTE

Hexapod H-850.x2IV

Vysoce přesný 6osý hexapod pro polohování těžkých zátěží ve vakuu až 10⁻⁶ hPa. H-850.x2IV je dostupný ve dvou variantách: H-850.G2IV nabízí vyšší rychlost až 2,5 mm/s a nosnost 25 kg, zatímco H-850.H2IV je určen pro zatížení až 80 kg a umožňuje jemnější inkrementální pohyb. Obě provedení nabízejí vysoké přídržné síly pro stabilní udržení polohy i bez napájení.

Nejdůležitější parametry

Parametr Hodnota
Vakuová kompatibilita až 10⁻⁶ hPa
Rozsah pohybu X / Y / Z ± 50 / ± 50 / ± 25 mm
Rozsah rotace θX / θY / θZ ± 15° / ± 15° / ± 30°
Minimální inkrementální pohyb od 0,3 / 0,3 / 0,2 µm
Jednosměrná opakovatelnost X / Y / Z ± 0,5 / ± 0,5 / ± 0,2 µm
Maximální nosnost 80 kg
Maximální rychlost až 2,5 mm/s

Klíčové vlastnosti

  • Přesné polohování v šesti stupních volnosti ve vakuu až 10⁻⁶ hPa.
  • Nosnost až 80 kg při horizontální orientaci základny.
  • Paralelní kinematika s kompaktní a tuhou konstrukcí.
  • Vysoké přídržné síly pro stabilní udržení polohy.
  • DC převodové motory s kuličkovými šrouby.
  • Simulace pracovního prostoru a zatížení pomocí PIVirtualMove.

Product description

H-850.x2IV je vakuově kompatibilní šestiosý polohovací systém určený pro přesné polohování a ustavování těžkých komponent a vzorků. Díky paralelní kinematice nabízí kompaktní a tuhou konstrukci, vysokou přesnost dráhy a dobrou opakovatelnost. Vysoké přídržné síly pomáhají udržet stabilní polohu systému i bez napájení.

Hexapod je vhodný například pro přesné ustavování optických komponent ve vakuových komorách, polohování litografických a inspekčních systémů nebo ustavování vzorků a optiky na beamline pracovištích. Pro návrh konkrétní aplikace lze využít software PIVirtualMove, který umožňuje simulovat pracovní prostor, orientaci systému a přípustné síly a momenty s ohledem na bod otáčení a těžiště zátěže.

Oblasti použití

  • Přesné ustavování optických komponent ve vakuových komorách
  • Litografické a inspekční systémy
  • Polohování a ustavování vzorků
  • Beamline pracoviště
  • Ustavování optiky svazku
  • Vakuové testovací komory pro satelity
  • Testování optických senzorů
  • Průmyslové a výzkumné vakuové aplikace

Technické parametry

Pohyb

Parametr H-850.G2IV H-850.H2IV
Aktivní osy X / Y / Z / θX / θY / θZ X / Y / Z / θX / θY / θZ
Rozsah pohybu v ose X ± 50 mm ± 50 mm
Rozsah pohybu v ose Y ± 50 mm ± 50 mm
Rozsah pohybu v ose Z ± 25 mm ± 25 mm
Rozsah rotace θX ± 15° ± 15°
Rozsah rotace θY ± 15° ± 15°
Rozsah rotace θZ ± 30° ± 30°
Maximální rychlost v ose X 2,5 mm/s 0,15 mm/s
Doporučená rychlost v ose X 2 mm/s 0,1 mm/s
Maximální rychlost v ose Y 2,5 mm/s 0,15 mm/s
Doporučená rychlost v ose Y 2 mm/s 0,1 mm/s
Maximální rychlost v ose Z 2,5 mm/s 0,15 mm/s
Doporučená rychlost v ose Z 2 mm/s 0,1 mm/s
Maximální úhlová rychlost θX 30 mrad/s 1,8 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θX 25 mrad/s 1,2 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θY 30 mrad/s 1,8 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θY 25 mrad/s 1,2 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θZ 30 mrad/s 1,8 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θZ 25 mrad/s 1,2 mrad/s

Polohování

Parametr H-850.G2IV H-850.H2IV Tolerance
Minimální inkrementální pohyb v ose X 1 µm 0,3 µm typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Y 1 µm 0,3 µm typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Z 0,5 µm 0,2 µm typ.
Minimální inkrementální pohyb θX 7,5 µrad 3 µrad typ.
Minimální inkrementální pohyb θY 7,5 µrad 3 µrad typ.
Minimální inkrementální pohyb θZ 15 µrad 5 µrad typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose X ± 0,5 µm ± 0,5 µm typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Y ± 0,5 µm ± 0,5 µm typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Z ± 0,2 µm ± 0,2 µm typ.
Jednosměrná opakovatelnost θX ± 3 µrad ± 3 µrad typ.
Jednosměrná opakovatelnost θY ± 3 µrad ± 3 µrad typ.
Jednosměrná opakovatelnost θZ ± 7,5 µrad ± 7,5 µrad typ.
Vůle v ose X 8 µm 6 µm typ.
Vůle v ose Y 8 µm 6 µm typ.
Vůle v ose Z 1,5 µm 0,5 µm typ.
Vůle θX 25 µrad 7,5 µrad typ.
Vůle θY 25 µrad 7,5 µrad typ.
Vůle θZ 90 µrad 60 µrad typ.

Pohon

Parametr H-850.G2IV H-850.H2IV
Typ pohonu DC převodový motor DC převodový motor
Typ šroubu Kuličkový šroub Kuličkový šroub
Jmenovité napětí 24 V 24 V

Mechanické vlastnosti

Parametr H-850.G2IV H-850.H2IV
Tuhost v ose X 3,5 N/µm 4 N/µm
Tuhost v ose Y 3,5 N/µm 4 N/µm
Tuhost v ose Z 50 N/µm 60 N/µm
Maximální nosnost – základna horizontálně 25 kg 80 kg
Maximální nosnost – základna v libovolné orientaci 10 kg 40 kg
Maximální přídržná síla – základna horizontálně 250 N 2000 N
Maximální přídržná síla – základna v libovolné orientaci 85 N 500 N
Celková hmotnost 17 kg 17 kg
Materiál Hliník Hliník

Ostatní parametry

Parametr H-850.G2IV H-850.H2IV
Rozsah provozních teplot −10 až 50 °C −10 až 50 °C
Vakuová třída 10⁻⁶ hPa 10⁻⁶ hPa
Pracovní cyklus 5 % 10 %
Konektor pro přenos dat HD D-sub 78, samec HD D-sub 78, samec
Konektor pro napájení M12, 4pólový, samec M12, 4pólový, samec
Délka kabelu 2 m 2 m
Doporučené řídicí jednotky / drivery C-887.5x C-887.5x

Inquire product

Are you interested in product? Send us your requirements via the enquiry form or contact an expert consultant directly. We will be happy to answer your questions and propose a solution according to your needs.

Direct contact

Mail Icon +420 910 920 610
Mail Icon info@optixs.cz