Hexapod H-850.x2IV

Vysoce přesný 6osý hexapod pro polohování těžkých zátěží ve vakuu až 10⁻⁶ hPa. H-850.x2IV je dostupný ve dvou variantách: H-850.G2IV nabízí vyšší rychlost až 2,5 mm/s a nosnost 25 kg, zatímco H-850.H2IV je určen pro zatížení až 80 kg a umožňuje jemnější inkrementální pohyb. Obě provedení nabízejí vysoké přídržné síly pro stabilní udržení polohy i bez napájení.

Nejdůležitější parametry

Parametr	Hodnota
Vakuová kompatibilita	až 10⁻⁶ hPa
Rozsah pohybu X / Y / Z	± 50 / ± 50 / ± 25 mm
Rozsah rotace θX / θY / θZ	± 15° / ± 15° / ± 30°
Minimální inkrementální pohyb	od 0,3 / 0,3 / 0,2 µm
Jednosměrná opakovatelnost X / Y / Z	± 0,5 / ± 0,5 / ± 0,2 µm
Maximální nosnost	80 kg
Maximální rychlost	až 2,5 mm/s

Klíčové vlastnosti

Přesné polohování v šesti stupních volnosti ve vakuu až 10⁻⁶ hPa.
Nosnost až 80 kg při horizontální orientaci základny.
Paralelní kinematika s kompaktní a tuhou konstrukcí.
Vysoké přídržné síly pro stabilní udržení polohy.
DC převodové motory s kuličkovými šrouby.
Simulace pracovního prostoru a zatížení pomocí PIVirtualMove.

Popis produktu

H-850.x2IV je vakuově kompatibilní šestiosý polohovací systém určený pro přesné polohování a ustavování těžkých komponent a vzorků. Díky paralelní kinematice nabízí kompaktní a tuhou konstrukci, vysokou přesnost dráhy a dobrou opakovatelnost. Vysoké přídržné síly pomáhají udržet stabilní polohu systému i bez napájení.

Hexapod je vhodný například pro přesné ustavování optických komponent ve vakuových komorách, polohování litografických a inspekčních systémů nebo ustavování vzorků a optiky na beamline pracovištích. Pro návrh konkrétní aplikace lze využít software PIVirtualMove, který umožňuje simulovat pracovní prostor, orientaci systému a přípustné síly a momenty s ohledem na bod otáčení a těžiště zátěže.

Oblasti použití

Přesné ustavování optických komponent ve vakuových komorách
Litografické a inspekční systémy
Polohování a ustavování vzorků
Beamline pracoviště
Ustavování optiky svazku
Vakuové testovací komory pro satelity
Testování optických senzorů
Průmyslové a výzkumné vakuové aplikace

Technické parametry

Pohyb

Parametr	H-850.G2IV	H-850.H2IV
Aktivní osy	X / Y / Z / θX / θY / θZ	X / Y / Z / θX / θY / θZ
Rozsah pohybu v ose X	± 50 mm	± 50 mm
Rozsah pohybu v ose Y	± 50 mm	± 50 mm
Rozsah pohybu v ose Z	± 25 mm	± 25 mm
Rozsah rotace θX	± 15°	± 15°
Rozsah rotace θY	± 15°	± 15°
Rozsah rotace θZ	± 30°	± 30°
Maximální rychlost v ose X	2,5 mm/s	0,15 mm/s
Doporučená rychlost v ose X	2 mm/s	0,1 mm/s
Maximální rychlost v ose Y	2,5 mm/s	0,15 mm/s
Doporučená rychlost v ose Y	2 mm/s	0,1 mm/s
Maximální rychlost v ose Z	2,5 mm/s	0,15 mm/s
Doporučená rychlost v ose Z	2 mm/s	0,1 mm/s
Maximální úhlová rychlost θX	30 mrad/s	1,8 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θX	25 mrad/s	1,2 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θY	30 mrad/s	1,8 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θY	25 mrad/s	1,2 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θZ	30 mrad/s	1,8 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θZ	25 mrad/s	1,2 mrad/s

Polohování

Parametr	H-850.G2IV	H-850.H2IV	Tolerance
Minimální inkrementální pohyb v ose X	1 µm	0,3 µm	typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Y	1 µm	0,3 µm	typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Z	0,5 µm	0,2 µm	typ.
Minimální inkrementální pohyb θX	7,5 µrad	3 µrad	typ.
Minimální inkrementální pohyb θY	7,5 µrad	3 µrad	typ.
Minimální inkrementální pohyb θZ	15 µrad	5 µrad	typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose X	± 0,5 µm	± 0,5 µm	typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Y	± 0,5 µm	± 0,5 µm	typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Z	± 0,2 µm	± 0,2 µm	typ.
Jednosměrná opakovatelnost θX	± 3 µrad	± 3 µrad	typ.
Jednosměrná opakovatelnost θY	± 3 µrad	± 3 µrad	typ.
Jednosměrná opakovatelnost θZ	± 7,5 µrad	± 7,5 µrad	typ.
Vůle v ose X	8 µm	6 µm	typ.
Vůle v ose Y	8 µm	6 µm	typ.
Vůle v ose Z	1,5 µm	0,5 µm	typ.
Vůle θX	25 µrad	7,5 µrad	typ.
Vůle θY	25 µrad	7,5 µrad	typ.
Vůle θZ	90 µrad	60 µrad	typ.

Pohon

Parametr	H-850.G2IV	H-850.H2IV
Typ pohonu	DC převodový motor	DC převodový motor
Typ šroubu	Kuličkový šroub	Kuličkový šroub
Jmenovité napětí	24 V	24 V

Mechanické vlastnosti

Parametr	H-850.G2IV	H-850.H2IV
Tuhost v ose X	3,5 N/µm	4 N/µm
Tuhost v ose Y	3,5 N/µm	4 N/µm
Tuhost v ose Z	50 N/µm	60 N/µm
Maximální nosnost – základna horizontálně	25 kg	80 kg
Maximální nosnost – základna v libovolné orientaci	10 kg	40 kg
Maximální přídržná síla – základna horizontálně	250 N	2000 N
Maximální přídržná síla – základna v libovolné orientaci	85 N	500 N
Celková hmotnost	17 kg	17 kg
Materiál	Hliník	Hliník

Ostatní parametry

Parametr	H-850.G2IV	H-850.H2IV
Rozsah provozních teplot	−10 až 50 °C	−10 až 50 °C
Vakuová třída	10⁻⁶ hPa	10⁻⁶ hPa
Pracovní cyklus	5 %	10 %
Konektor pro přenos dat	HD D-sub 78, samec	HD D-sub 78, samec
Konektor pro napájení	M12, 4pólový, samec	M12, 4pólový, samec
Délka kabelu	2 m	2 m
Doporučené řídicí jednotky / drivery	C-887.5x	C-887.5x

Made by OptiXs

FODL-MDX

Komplexní průvodce výběrem ochranných brýlí proti laserům