Request a solution
We distribute this product only in the Czech Republic and Slovakia.
For other countries, we deliver this product exclusively within integrated projects.
PHYSIK INSTRUMENTE - Logo
PHYSIK INSTRUMENTE

Hexapod H-811.I2V

Kompaktní a vysoce přesný 6osý hexapod pro polohování ve vakuu až 10⁻⁶ hPa. H-811.I2V je díky malým rozměrům vhodný pro integraci do vakuových komor a umožňuje přesné ustavování objektů v šesti stupních volnosti. Nabízí nosnost až 5 kg, rychlost až 10 mm/s a minimální inkrementální pohyb až 0,08 µm v ose Z.

Nejdůležitější parametry

Parametr Hodnota
Vakuová kompatibilita až 10⁻⁶ hPa
Rozsah pohybu X / Y / Z ± 17 / ± 16 / ± 6,5 mm
Rozsah rotace θX / θY / θZ ± 10° / ± 10° / ± 21°
Minimální inkrementální pohyb X / Y / Z 0,2 / 0,2 / 0,08 µm
Maximální nosnost 5 kg
Maximální rychlost 10 mm/s

Klíčové vlastnosti

  • Přesné polohování v šesti stupních volnosti.
  • Vakuová kompatibilita až 10⁻⁶ hPa.
  • Kompaktní konstrukce vhodná pro instalaci do vakuových komor.
  • Bezkomutátorové DC motory a tuhá mechanická konstrukce.
  • Vysoká dynamika pro aktivní ustavovací aplikace.
  • Simulace pracovního prostoru a zatížení pomocí PIVirtualMove.

Product description

H-811.I2V je vakuová varianta miniaturního hexapodu H-811 určená pro aplikace, kde je potřeba spojit malé instalační rozměry s přesným polohováním ve vakuu. Paralelní kinematika umožňuje pohyb ve všech šesti stupních volnosti při zachování kompaktní a tuhé konstrukce.

Bezkomutátorové DC motory v kombinaci s tuhou mechanickou konstrukcí poskytují dynamiku potřebnou také pro aktivní ustavovací procesy, a to i při působení vnějších vlivů, například během lepení. Pro návrh aplikace lze využít software PIVirtualMove, který umožňuje simulovat pracovní prostor, orientaci systému a přípustné síly a momenty s ohledem na zvolený bod otáčení a těžiště zátěže.

Oblasti použití

  • Polohování ve vakuových komorách
  • Přesné ustavovací procesy
  • Aktivní ustavování
  • Výrobní procesy ve vakuu
  • Měřicí procesy ve vakuu
  • Polohování optických a fotonických komponent

Technické parametry

Pohyb

Parametr H-811.I2V
Aktivní osy X / Y / Z / θX / θY / θZ
Rozsah pohybu v ose X ± 17 mm
Rozsah pohybu v ose Y ± 16 mm
Rozsah pohybu v ose Z ± 6,5 mm
Rozsah rotace θX ± 10°
Rozsah rotace θY ± 10°
Rozsah rotace θZ ± 21°
Maximální rychlost v ose X 10 mm/s
Doporučená rychlost v ose X 5 mm/s
Maximální rychlost v ose Y 10 mm/s
Doporučená rychlost v ose Y 5 mm/s
Maximální rychlost v ose Z 10 mm/s
Doporučená rychlost v ose Z 5 mm/s
Maximální úhlová rychlost θX 250 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θX 120 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θY 250 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θY 120 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θZ 250 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θZ 120 mrad/s

Polohování

Parametr H-811.I2V Tolerance
Minimální inkrementální pohyb v ose X 0,2 µm typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Y 0,2 µm typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Z 0,08 µm typ.
Minimální inkrementální pohyb θX 2,5 µrad typ.
Minimální inkrementální pohyb θY 2,5 µrad typ.
Minimální inkrementální pohyb θZ 5 µrad typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose X ± 0,15 µm typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Y ± 0,15 µm typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Z ± 0,06 µm typ.
Jednosměrná opakovatelnost θX ± 2 µrad typ.
Jednosměrná opakovatelnost θY ± 2 µrad typ.
Jednosměrná opakovatelnost θZ ± 3 µrad typ.
Vůle v ose X 0,2 µm typ.
Vůle v ose Y 0,2 µm typ.
Vůle v ose Z 0,06 µm typ.
Vůle θX 2 µrad typ.
Vůle θY 2 µrad typ.
Vůle θZ 4 µrad typ.

Pohon

Parametr H-811.I2V
Typ pohonu Bezkomutátorový DC motor

Mechanické vlastnosti

Parametr H-811.I2V
Tuhost v ose X 0,7 N/µm
Tuhost v ose Y 0,7 N/µm
Tuhost v ose Z 8 N/µm
Maximální nosnost – základna horizontálně 5 kg
Maximální nosnost – základna v libovolné orientaci 2,5 kg
Maximální přídržná síla – základna horizontálně 15 N
Maximální přídržná síla – základna v libovolné orientaci 2,5 N
Celková hmotnost 2,2 kg
Materiál Nerezová ocel, hliník

Ostatní parametry

Parametr H-811.I2V
Vakuová třída 10⁻⁶ hPa
Maximální teplota vypékání 80 °C
Rozsah provozních teplot 0 až 50 °C
Konektor pro přenos dat HD D-sub 78, samec
Konektor pro napájení LEMO
Délka kabelu 2 m
Doporučené řídicí jednotky / drivery C-887.5x

Inquire product

Are you interested in product? Send us your requirements via the enquiry form or contact an expert consultant directly. We will be happy to answer your questions and propose a solution according to your needs.