PHYSIK INSTRUMENTE

Hexapod H-811.I2V

Kompaktní a vysoce přesný 6osý hexapod pro polohování ve vakuu až 10⁻⁶ hPa. H-811.I2V je díky malým rozměrům vhodný pro integraci do vakuových komor a umožňuje přesné ustavování objektů v šesti stupních volnosti. Nabízí nosnost až 5 kg, rychlost až 10 mm/s a minimální inkrementální pohyb až 0,08 µm v ose Z.

Nejdůležitější parametry

Parametr	Hodnota
Vakuová kompatibilita	až 10⁻⁶ hPa
Rozsah pohybu X / Y / Z	± 17 / ± 16 / ± 6,5 mm
Rozsah rotace θX / θY / θZ	± 10° / ± 10° / ± 21°
Minimální inkrementální pohyb X / Y / Z	0,2 / 0,2 / 0,08 µm
Maximální nosnost	5 kg
Maximální rychlost	10 mm/s

Klíčové vlastnosti

Přesné polohování v šesti stupních volnosti.
Vakuová kompatibilita až 10⁻⁶ hPa.
Kompaktní konstrukce vhodná pro instalaci do vakuových komor.
Bezkomutátorové DC motory a tuhá mechanická konstrukce.
Vysoká dynamika pro aktivní ustavovací aplikace.
Simulace pracovního prostoru a zatížení pomocí PIVirtualMove.

Popis produktu

H-811.I2V je vakuová varianta miniaturního hexapodu H-811 určená pro aplikace, kde je potřeba spojit malé instalační rozměry s přesným polohováním ve vakuu. Paralelní kinematika umožňuje pohyb ve všech šesti stupních volnosti při zachování kompaktní a tuhé konstrukce.

Bezkomutátorové DC motory v kombinaci s tuhou mechanickou konstrukcí poskytují dynamiku potřebnou také pro aktivní ustavovací procesy, a to i při působení vnějších vlivů, například během lepení. Pro návrh aplikace lze využít software PIVirtualMove, který umožňuje simulovat pracovní prostor, orientaci systému a přípustné síly a momenty s ohledem na zvolený bod otáčení a těžiště zátěže.

Oblasti použití

Polohování ve vakuových komorách
Přesné ustavovací procesy
Aktivní ustavování
Výrobní procesy ve vakuu
Měřicí procesy ve vakuu
Polohování optických a fotonických komponent

Technické parametry

Pohyb

Parametr	H-811.I2V
Aktivní osy	X / Y / Z / θX / θY / θZ
Rozsah pohybu v ose X	± 17 mm
Rozsah pohybu v ose Y	± 16 mm
Rozsah pohybu v ose Z	± 6,5 mm
Rozsah rotace θX	± 10°
Rozsah rotace θY	± 10°
Rozsah rotace θZ	± 21°
Maximální rychlost v ose X	10 mm/s
Doporučená rychlost v ose X	5 mm/s
Maximální rychlost v ose Y	10 mm/s
Doporučená rychlost v ose Y	5 mm/s
Maximální rychlost v ose Z	10 mm/s
Doporučená rychlost v ose Z	5 mm/s
Maximální úhlová rychlost θX	250 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θX	120 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θY	250 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θY	120 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θZ	250 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θZ	120 mrad/s

Polohování

Parametr	H-811.I2V	Tolerance
Minimální inkrementální pohyb v ose X	0,2 µm	typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Y	0,2 µm	typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Z	0,08 µm	typ.
Minimální inkrementální pohyb θX	2,5 µrad	typ.
Minimální inkrementální pohyb θY	2,5 µrad	typ.
Minimální inkrementální pohyb θZ	5 µrad	typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose X	± 0,15 µm	typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Y	± 0,15 µm	typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Z	± 0,06 µm	typ.
Jednosměrná opakovatelnost θX	± 2 µrad	typ.
Jednosměrná opakovatelnost θY	± 2 µrad	typ.
Jednosměrná opakovatelnost θZ	± 3 µrad	typ.
Vůle v ose X	0,2 µm	typ.
Vůle v ose Y	0,2 µm	typ.
Vůle v ose Z	0,06 µm	typ.
Vůle θX	2 µrad	typ.
Vůle θY	2 µrad	typ.
Vůle θZ	4 µrad	typ.

Pohon

Parametr	H-811.I2V
Typ pohonu	Bezkomutátorový DC motor

Mechanické vlastnosti

Parametr	H-811.I2V
Tuhost v ose X	0,7 N/µm
Tuhost v ose Y	0,7 N/µm
Tuhost v ose Z	8 N/µm
Maximální nosnost – základna horizontálně	5 kg
Maximální nosnost – základna v libovolné orientaci	2,5 kg
Maximální přídržná síla – základna horizontálně	15 N
Maximální přídržná síla – základna v libovolné orientaci	2,5 N
Celková hmotnost	2,2 kg
Materiál	Nerezová ocel, hliník

Ostatní parametry

Parametr	H-811.I2V
Vakuová třída	10⁻⁶ hPa
Maximální teplota vypékání	80 °C
Rozsah provozních teplot	0 až 50 °C
Konektor pro přenos dat	HD D-sub 78, samec
Konektor pro napájení	LEMO
Délka kabelu	2 m
Doporučené řídicí jednotky / drivery	C-887.5x

Made by OptiXs

FODL-MDX

Komplexní průvodce výběrem ochranných brýlí proti laserům