Kompaktní a vysoce přesný 6osý hexapod pro polohování ve vakuu až 10⁻⁶ hPa. H-811.I2V je díky malým rozměrům vhodný pro integraci do vakuových komor a umožňuje přesné ustavování objektů v šesti stupních volnosti. Nabízí nosnost až 5 kg, rychlost až 10 mm/s a minimální inkrementální pohyb až 0,08 µm v ose Z.
Nejdůležitější parametry
| Parametr | Hodnota |
|---|---|
| Vakuová kompatibilita | až 10⁻⁶ hPa |
| Rozsah pohybu X / Y / Z | ± 17 / ± 16 / ± 6,5 mm |
| Rozsah rotace θX / θY / θZ | ± 10° / ± 10° / ± 21° |
| Minimální inkrementální pohyb X / Y / Z | 0,2 / 0,2 / 0,08 µm |
| Maximální nosnost | 5 kg |
| Maximální rychlost | 10 mm/s |
Klíčové vlastnosti
- Přesné polohování v šesti stupních volnosti.
- Vakuová kompatibilita až 10⁻⁶ hPa.
- Kompaktní konstrukce vhodná pro instalaci do vakuových komor.
- Bezkomutátorové DC motory a tuhá mechanická konstrukce.
- Vysoká dynamika pro aktivní ustavovací aplikace.
- Simulace pracovního prostoru a zatížení pomocí PIVirtualMove.
