Spektroskopický elipsometr pro tenkovrstvé povlaky

Spektroskopický elipsometr s variabilním úhlem dopadu, širokospektrálním rozsahem (od 245 do 1690 nm) a automatickým mapováním vzorku.

Měření kompletních elipsometrických dat z celého spektra současně během jednotek sekund včetně dostatečného průměrování dat.

Měření Ψ (psí) a Δ (delta) v celém rozsahu bez singulárních bodů.

Možnost měření 12 prvků Muellerovy matice (vhodné pro anizotropní a depolarizující vrstvy).

Možnost měření optických vlastností tenkých vrstev na silně zakřivených substrátech:

• index lomu,
• extinkční (absorpční) koeficient,
• tloušťka vrstev,
• depolarizace,
• porozita,
• drsnost a morfologie

Spektroskopický elipsometr M-2000 od světové špičkymezi výrobci spektroskopických elipsometrů J.A.Woollam Co.

Jedná se o sestavu elipsometru s motorizovaným goniometrem pro úhlová měření a motorizovanými posuvy pro mapping vzorku. Díky kombinaci rychlého CCD detektoru a patentované RCE technologie (elipsometrie s rotujícím kompenzátorem) umožňuje M-2000 měřit s extrémní citlivostí elipsometrická data z celého spektrálního rozsahu (zde 245 - 1690 nm) ve zlomku sekundy.

Nabízený systém má mnohostranné použití a je ideálním nástrojem pro studium optických vlastností tenkých vrstev a multivrstev, jejich uniformity, výzkum nanostruktur, detekování povrchových fázových přechodů, měření koncentrací volných nositelů nábojů. Zajišťuje možnost výzkumu pásové struktury (včetně kritických bodů), možnost nedestruktivního výzkumu profilu indexu lomu v super-tenkých vrstvách, umožňuje měření rychlých procesů (například depozice vrstev) a další...

Špičkový CompleteEase software výrazně usnadňuje práci s elipsometrickými daty, nabízí nejširší škálu analytických modelů a knihovnu optických charakteristik široké nabídky materiálů.

Parametry zařízení

• Spektrální rozsah: 245 - 1690 nm
• Úhlový rozsah: 45° - 90°
• Počet měřitelných prvků MM: 12
• Čas měření kompletního spektra: < 0,1 s
• Motorizované posuvy: ANO (rozsah 100 mm x 100 mm)
• Mapping vzorku: ANO
• Mikrofokusační nástavce: ANO (2 kusy)
• Kamera pro náhled vzorku: ANO