Spektroskopický elipsometr řady M-2000 od J.A. Woollam je modulární přístroj využívající přelomové technologie rotujícího kompenzátoru (RCE) pro vysokou přesnost a CCD detekce pro bezkonkurenční rychlost měření. Tato řada je hojně využívaná pro charakterizaci tenkých vrstev, jejich optických vlastností a tloušťky.
Přelomová technologie RCE (Rotating Compensator Ellipsometry) pro vysoce přesná měření v kombinaci s rychlým CCD detektorem umožňuje měření široké škále materiálů jako např. dielektrických, organických, polovodivých materiálů a kovů. Široký spektrální rozsah (až 193-1690nm) s proměnným úhlem měření umožňuje analýzu i vícevrstevných struktur. Modularita systému umožňuje mimo jiné využití elipsometru v režimu in situ i ex situ. Velmi rychlé měření dat - kompletní série dat z celého spektra během jednotek sekund.
Klíčové vlastnosti
- Přelomová RCE technologie - rychlost a přesnost
- Modulární design
- Ex-situ i in-situ konfigurace
- Flexibilní systémová integrace
- Široký spektrální rozsah
- Rychlé měření celého spektra naráz díky CCD detektoru
- Vysoce přesné měření na široké škále materiálů
- Komplexní software s nejširší škálou analytických modelů na trhu
- Jednoduchý alignment díky integrovanému kvadrantovému detektoru
Elipsometry řady M2000 jsou vybaveny plně automatizovaným systémem sběru dat a motorizovaným pracovním stolem, který umožňuje 2D mapování vzorku a vyhodnocovaní nejen kvality vrstvy ale i její jednotnosti.
