Verifire

Laserový Fizeau interferometr ZYGO Verifire pro měření dokonalosti tvaru optických prvků nebo reflexních povrchů pevných materiálů do kruhového průměru 100 nebo 150 mm. Interferometr je vybaven originální technikou měření a statistického zpracování dat QPSI poskytují vyšší odolnost proti běžným mechanickým vibracím v prostředí průmyslového provozu posunutou za hranice běžné interferometrie s fázovým posuvem.

QPSI

Technika interferometrie s fázovým posuvem PSI (Phase Shifting Interferometry) ovládaným mechanickým posunem zrcadla interferometru zvyšuje přesnost měření interferometru. Originální zdokonalení této techniky označené jako QPSI (Quick Phase-Shifting Interferometry) posouvá odolnost proti běžným vibracím v prostředí průmyslového provozu za hranice běžné interferometrie s fázovým posuvem.

Klíčové vlastnosti

Světelným zdroje pro měření je stabilizovaný He-Ne laser (633 nm) s délkou koherence záření až 100 m
Interferenční obrazce jsou zaznamenávány integrovanou kamerou s rozlišením až 11 MPx.
frekvence snímkování až 210 Hz (dle kamery)
Komplexní software MetroPro MX pro statistické zpracování dat a jejich vizualizace
Přistroj je vhodný pro měření v horizontálním i vertikálním uspořádání
Možnost dálkového ovládání interferometru pro zvýšení komfortu měření
Odolnost měření proti mechanickým vibracím

Verifire HD / HDX

Interferometr Zygo Verifire™ HD a HDX jsou variantami interferometru Verifire™ osazeného dokonalejší kamerou pro snímání interferenčního obrazce. Vysoké rozlišení 11 MPx umožňuje odhalit jemnější nedokonalosti tvaru optických prvků, v řádech tzv. mid-spatial frequency.

Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis

S čím dalším můžeme pomoci

Příklady typických měřících aplikací

Měření optických elementů s různoběžnými plochami: klínovité tvary, hranoly – testování pravoúhlosti stran
Statická měření interferenčních proužků bez užití fázové modulace (většinou na objektech velkých průměrů)
Měření s aplikací Zernikeho polynomů v interpretaci naměřených dat
Měření vnitřních reflexních ploch odrazných hranolů
Měření povrchu pevných disků, sklonu v radiálním a axiálním směru, měření obvodových rychlostí apod.
Měření homogenity povrchu leštěných skel
Měření absolutních odchylek rovinatosti ploch s přesností vyšší než 1/100 vlnové délky
Měření kvality sférických optických prvků
Měření deformace vlnoplochy na odraz i průchod
Měření poloměru křivosti

Parametry

	Verifire	Verifire HD	Verifire HDX
Apertura	4 a 6 palců (102 a 152 mm)
Světelný zdroj	He-Ne laser, λ=633 nm se stabilitou <0,0001 nm, výkon 3 mW, koherenční délka > 100m
Rozlišení snímací kamery	1,2k x 1,2k Px	2,3k x 2,3k Px	3,4k x 3,4k Px
Frekvence snímkování	160 Hz	210 Hz	96 Hz
Čas pořízení jednoho záznamu	81 - 188 ms	130 - 300 ms
Zvětšení	1 - 5 x, kontinuální optické; (1 - 50 x digitálně)	1x, 1,7x a 3x diskrétní optické; (1 - 50 x digitálně)
Opakovatelnost měření RMS	< 0.06 nm, λ /10,000 (2σ)
Opakovatelnost měření vlnoplochy RMS	< 0.35 nm, λ /1,800 (mean + 2σ)