Laserový Fizeau interferometr ZYGO Verifire pro měření dokonalosti tvaru optických prvků nebo reflexních povrchů pevných materiálů do kruhového průměru 100 nebo 150 mm. Interferometr je vybaven originální technikou měření a statistického zpracování dat QPSI poskytují vyšší odolnost proti běžným mechanickým vibracím v prostředí průmyslového provozu posunutou za hranice běžné interferometrie s fázovým posuvem.
QPSI
Technika interferometrie s fázovým posuvem PSI (Phase Shifting Interferometry) ovládaným mechanickým posunem zrcadla interferometru zvyšuje přesnost měření interferometru. Originální zdokonalení této techniky označené jako QPSI (Quick Phase-Shifting Interferometry) posouvá odolnost proti běžným vibracím v prostředí průmyslového provozu za hranice běžné interferometrie s fázovým posuvem.
Klíčové vlastnosti
- Světelným zdroje pro měření je stabilizovaný He-Ne laser (633 nm) s délkou koherence záření až 100 m
- Interferenční obrazce jsou zaznamenávány integrovanou kamerou s rozlišením až 11 MPx.
- frekvence snímkování až 210 Hz (dle kamery)
- Komplexní software MetroPro MX pro statistické zpracování dat a jejich vizualizace
- Přistroj je vhodný pro měření v horizontálním i vertikálním uspořádání
- Možnost dálkového ovládání interferometru pro zvýšení komfortu měření
- Odolnost měření proti mechanickým vibracím
Verifire HD / HDX
Interferometr Zygo Verifire™ HD a HDX jsou variantami interferometru Verifire™ osazeného dokonalejší kamerou pro snímání interferenčního obrazce. Vysoké rozlišení 11 MPx umožňuje odhalit jemnější nedokonalosti tvaru optických prvků, v řádech tzv. mid-spatial frequency.
