Spektroskopický elipsometr iSE od J.A. Woollam je určený speciálně pro real-time in-situ charakterizaci vrstev. Využívá se například pro charakterizaci kinetiky růstu tenkých vrstev ve vakuových komorách. Umožňuje mimo jiné zjištění optických vlastností materiálů jako komplexní index lomu, ale také určení tloušťky vrstev.
iSE s technologií Dual-Rotation měří optické vlastnosti tenkých vrstev během jejich růstu se sub-angströmovou citlivostí ve zlomku sekundy. Rychlou a přesnou detekci zajišťuje CCD detektor, který umožňuje měřit celé spektrum (v rozsahu 400-1000 nm) současně. Elipsometr iSE je vhodný pro měření široké škály materiálů, včetně kovů, polovodičů, oxidů, nitridů a dalších.
Klíčové vlastnosti
- In-situ konfigurace s jednoduchou integrací na komoru
- Kompaktní design
- Příznivá cena
- Rychlé, přesné, nedestruktivní měření celého spektra současně
- Real-time monitoring kinetiky růstu vrstev
- Vhodný pro širokou škálu materiálů
