AFSEM pro korelativní mikroskopii

AFSEM™ od GETec umožňuje rozšíření možností vašeho skenovacího elektronového mikroskopu (SEM) o unikátní vlastnosti mikroskopie atomárních sil (AFM) s možností korelativní analýzy dat.

AFSEM™ je kompatibilní s většinou dostupných SEM a FIB/SEM systémů na trhu a je může tak snadno rozšířit schopnosti i Vašeho systému o mikroskopii atomárních sil. Díky unikátnímu designu nedochází k nežádoucímu rušení ostatních měřicích metod systému (např. FIB, FEBID, EDX), naopak systém s tímto rozšířením dokáže mimo jiné získat informaci o 3D struktuře vzorku.

Vlastnosti

  • Rozměry AFSEM™ skeneru: 41 x 110 x 77 mm³ (VxŠxH)
  • Hmotnost AFSEM™ skeneru: 500 g
  • Skenovací rozsah: 35 x 35 µm² pro x,y (uzavřená smyčka); 5 µm pro osu z
  • Vakuová kompatibilita: do 10-7 mbar
  • Různé měřicí módy
Richard Schuster
Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

  • Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
  • Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
  • Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis
S čím dalším můžeme pomoci

Aplikace

Parametry

AFSEM určený primárně pro integraci do SEM nabízí širokou škálu měřicích módů typických pro mikroskopii atomárních sil (AFM). Umožňuje tak jednoduše rozšířit stávající SEM mikroskop nejen o schopnosti AFM mikroskopu, ale především o korelativní analýzu dat získaných pomocí obou metod současně. Například se nabízí možnost statického i dynamického 3D zobrazování, měření fázového kontrastu, měření silové modulace, mapování vodivosti atd. Samozřejmostí je měření v kontaktním i AC módu.

   AFSEM 1.0 AFSEM nano 
Rozměry senzoru [mm] 110 x 77 x 41 70 x 58 x 30
Skenovací rozsah [um] 34 x 34 (closed loop) 25 x 25 (closed loop)
šum XY-skeneru < 0,3 nm (RMS) < 0,3 nm (RMS)
Skenovací rozsah v Z [um] 5 15
šum Z-skeneru ~80 pm ~80 pm
Rozsah XYZ posuvů [mm] 8 x 12 x 24 12 x 12 x 12
Minimální krok XYZ posuvů [nm] 50 30
Hmotnost senzoru [g] 500 70
Vakuová kompatibilita [mbar] 10-6 10-7

Dokumenty

AFSEM Brožura

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Odborný poradce

Richard Schuster

Ing. Richard Schuster

Loading…
Loading the web debug toolbar…
Attempt #