Kompaktní nanopolohovací lineární a skenovací osy s piezo pohonem se subnanometrovou přesností, rozsahem pohybu v řádu stovek mikrometrů a vysoce přesným vedením s minimálními přeslechy. To vše jsou piezo osy z řady Flexure.
Pohyb Flexure piezo elementu je založen na pružné deformaci vedení z pevného materiálu pomocí piezo elementu. Díky tomu je eliminováno statické, valivé či posuvné tření.
Výsledkem je vysoká tuhost, nosnost a odolnost proti opotřebení. Flexure osy jsou bezúdržbové, mohou být vyrobeny z nemagnetických materiálů, nevyžadují maziva či jiná aditiva a tudíž je lze bez problému použít i ve vakuu.
Typické parametry
- Polohování v osách X, Y, Z a jejich kombinace
- Rozlišení 0,05 - 0,2 nm
- Rozsah pohybu 60 až 2000 um
- Nosnost až 10kg
- Možnost rychlých dynamických pohybů (kmitů)
- Varianty s enkodéry i bez nich (odměřování polohy)
- Verze pro vakuum
