Spektroskopický elipsometr RC2 od J.A. Woollam s novou technologií Dual RCE (Rotating Compensator Ellipsometry) umožňuje rychlé a vysoce přesné měření široké škály materiálů jako např. organických materiálů, dielektrik, polovodičů i kovů. Jedná se o mikrofokusační elipsometr v konfiguraci PCSCA (Polarizer-Compensator-Sample-Compensator-Analyzer). Díky technologii Dual RCE měří RC2 spojitě (bez singulárních bodů) a s vysokou senzitivitou v celém rozsahu elipsometrických hodnot.
Používá se pro charakterizaci tenkých vrstev s mikrostrukturami nebo plošnými nehomogenitami, pro zjištění tloušťky vrstvy, optických vlastností, komplexního indexu lomu, koeficientu absorpce a dalších.
Systém je k dispozici ve dvou variantách spektrálního rozsahu: 193 - 1000 nm a 193 - 1500 nm. Kompletní spektrum je snímání současně, v řádu desetin až jednotek sekund (v závislosti na průměrování dat). V obou variantách s fixním úhlem dopadu 65°.
Klíčové vlastnosti
- Nejpřesnější elipsometr na bázi CCD
- Měření kompletní Muellerovy matice
- Dual RCE technologie se dvěma rotujícími kompenzátory
- Spektrální rozsah až 193 - 1500 nm při simultánní detekci celého spektra
- Velikost měřicí stopy 25 µm x 40 µm
Elipsometry řady RC2 jsou vybaveny plně automatizovaným systémem sběru dat. Motorizované polohování který umožňuje automatické mapování vzorku s mikrofokusací na velikost stopy 25 µm x 40 µm (nebo volitelně 25 µm x 60 µm).
