Hexapod H-824.V

Kompaktní a přesný 6osý hexapod pro polohování ve vakuu až 10⁻⁶ hPa. H-824.V je dostupný ve dvou variantách: provedení s přímým pohonem nabízí vyšší rychlost až 12,5 mm/s, zatímco varianta s převodovkou umožňuje jemnější polohování a nosnost až 5 kg. Skládané uspořádání pohonu přispívá ke kompaktním rozměrům systému.

Nejdůležitější parametry

Parametr	Hodnota
Vakuová kompatibilita	až 10⁻⁶ hPa
Rozsah pohybu X / Y / Z	± 22,5 / ± 22,5 / ± 12,5 mm
Rozsah rotace θX / θY / θZ	± 7,5° / ± 7,5° / ± 12,5°
Minimální inkrementální pohyb	od 0,3 µm
Maximální nosnost	5 kg
Maximální rychlost	až 12,5 mm/s

Klíčové vlastnosti

Přesné polohování v šesti stupních volnosti.
Vakuová kompatibilita až 10⁻⁶ hPa.
Skládané uspořádání pohonu pro kompaktní konstrukci.
Paralelní kinematika s vysokou tuhostí a dynamikou.
Konstrukce bez pohyblivých kabelů mezi základnou a platformou.
Simulace pracovního prostoru a zatížení pomocí PIVirtualMove.

Popis produktu

H-824.V je vakuově kompatibilní šestiosý polohovací systém určený pro aplikace, kde je potřeba spojit přesné řízení polohy s kompaktními rozměry. Paralelní kinematika umožňuje pohyb ve všech šesti stupních volnosti a poskytuje kompaktní a tuhou konstrukci s vyšší dynamikou oproti sériově uspořádaným polohovacím systémům.

Dvě dostupná provedení umožňují zvolit systém podle požadavků konkrétní aplikace – od vyšší rychlosti pohybu po vyšší nosnost a jemnější polohování. Pro návrh aplikace lze využít software PIVirtualMove.

Oblasti použití

Průmyslové aplikace
Výzkumné sestavy
Mikromanipulace
Biotechnologie
Výroba polovodičů
Přesné polohování ve vakuovém prostředí

Technické parametry

Pohyb

Parametr	H-824.D2V	H-824.G2V
Aktivní osy	X / Y / Z / θX / θY / θZ	X / Y / Z / θX / θY / θZ
Rozsah pohybu v ose X	± 22,5 mm	± 22,5 mm
Rozsah pohybu v ose Y	± 22,5 mm	± 22,5 mm
Rozsah pohybu v ose Z	± 12,5 mm	± 12,5 mm
Rozsah rotace θX	± 7,5°	± 7,5°
Rozsah rotace θY	± 7,5°	± 7,5°
Rozsah rotace θZ	± 12,5°	± 12,5°
Maximální rychlost v ose X	12,5 mm/s	0,5 mm/s
Doporučená rychlost v ose X	5 mm/s	0,2 mm/s
Maximální rychlost v ose Y	12,5 mm/s	0,5 mm/s
Doporučená rychlost v ose Y	5 mm/s	0,2 mm/s
Maximální rychlost v ose Z	12,5 mm/s	0,5 mm/s
Doporučená rychlost v ose Z	5 mm/s	0,2 mm/s
Maximální úhlová rychlost θX	135 mrad/s	5,5 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θX	28 mrad/s	2,3 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θY	135 mrad/s	5,5 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θY	28 mrad/s	2,3 mrad/s
Maximální úhlová rychlost θZ	135 mrad/s	5,5 mrad/s
Doporučená úhlová rychlost θZ	28 mrad/s	2,3 mrad/s

Polohování

Parametr	H-824.D2V	H-824.G2V	Tolerance
Minimální inkrementální pohyb v ose X	2 µm	0,3 µm	typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Y	2 µm	0,3 µm	typ.
Minimální inkrementální pohyb v ose Z	1 µm	0,3 µm	typ.
Minimální inkrementální pohyb θX	12 µrad	3,5 µrad	typ.
Minimální inkrementální pohyb θY	12 µrad	3,5 µrad	typ.
Minimální inkrementální pohyb θZ	14 µrad	3,5 µrad	typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose X	± 0,5 µm	± 0,4 µm	typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Y	± 0,5 µm	± 0,4 µm	typ.
Jednosměrná opakovatelnost v ose Z	± 0,15 µm	± 0,1 µm	typ.
Jednosměrná opakovatelnost θX	± 3 µrad	± 2 µrad	typ.
Jednosměrná opakovatelnost θY	± 3 µrad	± 2 µrad	typ.
Jednosměrná opakovatelnost θZ	± 2,5 µrad	± 3 µrad	typ.
Vůle v ose X	3 µm	5 µm	typ.
Vůle v ose Y	3 µm	5 µm	typ.
Vůle v ose Z	1,5 µm	1,5 µm	typ.
Vůle θX	20 µrad	30 µrad	typ.
Vůle θY	20 µrad	30 µrad	typ.
Vůle θZ	60 µrad	45 µrad	typ.

Pohon

Parametr	H-824.D2V	H-824.G2V
Typ pohonu	DC motor	DC převodový motor
Jmenovité napětí	24 V	24 V

Mechanické vlastnosti

Parametr	H-824.D2V	H-824.G2V
Tuhost v ose X	1,7 N/µm	1,7 N/µm
Tuhost v ose Y	1,7 N/µm	1,7 N/µm
Tuhost v ose Z	7 N/µm	7 N/µm
Maximální nosnost – základna horizontálně	2,5 kg	5 kg
Maximální nosnost – základna v libovolné orientaci	1,25 kg	2,5 kg
Maximální přídržná síla – základna horizontálně	15 N	50 N
Maximální přídržná síla – základna v libovolné orientaci	5 N	25 N
Celková hmotnost	8 kg	8 kg
Materiál	Hliník	Hliník

Ostatní parametry

Parametr	H-824.D2V	H-824.G2V
Rozsah provozních teplot	−10 až 50 °C	−10 až 50 °C
Vakuová třída	10⁻⁶ hPa	10⁻⁶ hPa
Maximální teplota vypékání	80 °C	80 °C
Konektor pro přenos dat	HD D-sub 78, samec	HD D-sub 78, samec
Konektor pro napájení	LEMO	LEMO
Délka kabelu	2 m	2 m
Doporučené řídicí jednotky / drivery	C-887.5x	C-887.5x

Made by OptiXs

FODL-MDX

Komplexní průvodce výběrem ochranných brýlí proti laserům