Stabiler HeNe-Laser als Belichtungsquelle, achromatische Polarisationsoptik in motorisierten Rotatoren von PI für polarimetrische und ellipsometrische Messungen mit der Möglichkeit einer zukünftigen Erweiterung um spektroskopische Messungen, präzise Goniometer mit hoher Tragkraft von PI, ein sechsachsiger manueller Tisch zur Probenhandhabung, eine 4-Quad-Fotodiode zur einfachen Ausrichtung, ein automatischer Verschluss und eine schnelle Datenauslesung vom Sensor.
Das resultierende System ist um zusätzliche Funktionen erweiterbar, wie beispielsweise eine Kamera zur Probenansicht, die Möglichkeit der Fokussierung auf die Probe, die Erweiterung um spektroskopische Messungen oder motorisierte Verschiebungen zur Abtastung der Probe.
Geräteparameter
- Wellenlänge: 632,8 nm
- Winkelauflösung: < 0,001°
- Einfallswinkelbereich: 30° – 90° (im asymmetrischen Modus kann jeder der Arme von 0° bis 90° eingestellt werden)
- Extinktionsverhältnis von Polarisator und Analysator: ≥ 100 000 : 1
