Impedanz
Das Unternehmen Impedans ist auf die Herstellung von Produkten zur Charakterisierung von Plasmaentladungen spezialisiert. Die Systeme von Impedans finden Anwendung in den Bereichen Grundlagenforschung, Entwicklung, Gerätedesign, Prozesskontrolle, Fehlererkennung und Klassifizierung (FDC) in zahlreichen Branchen, von der Halbleiterindustrie über die Vakuumbeschichtung bis hin zur Herstellung medizinischer Geräte sowie in der Luft- und Raumfahrt.
www.impedans.com
Produkte
- Sonden zur Erfassung von HF-Frequenzen, zur Echtzeit-Messung des Arbeitszyklus, zur Messung der durchschnittlichen Leistung, Spannung, Stromstärke und Impedanz der Plasmaentladung sowie zur HF-Impulsüberwachung – z. B. die Sonden der Serie Octiv
- Sonden zur Messung der wichtigsten physikalischen Parameter des Volumenplasmas, wie z. B. des Plasmapotentials, der Dichte geladener Teilchen (Elektronen und Ionen) und der Elektronentemperatur – all dies gibt Aufschluss über das Verhalten des Plasmas während des eigentlichen Prozesses, wie z. B. der Abscheidung usw. – z. B. Langmuir-Sonden, Plato
- Sonden zur Messung des Prozesses an der Substratoberfläche – Messung des Ionenflusses und der Verteilungsfunktion der Energie der auf die Oberfläche auftreffenden Ionen in Echtzeit mithilfe eines simulierten Substrats mit integrierten Sensoren, gegebenenfalls auch in Kombination mit einer integrierten Quarzkristallwaage (QCM), die zur Messung der Energieverteilungsfunktion der Ionen und des Verhältnisses von ionischer zu neutraler Abscheidung auf der Oberfläche im Inneren des Plasmareaktors dient – z. B. Systeme wie Semion, Vertex oder neutrale Abscheidung auf der Oberfläche im Inneren eines Plasmareaktors – z. B. die Systeme Semion, Vertex oder Quantum
Einsatz
- Halbleiterindustrie
- Vakuumbeschichtung
- Herstellung medizinischer Geräte
- Luft- und Raumfahrt
