Sonden von Impedans zur Messung von Prozessen an der Substratoberfläche – Messung des Ionenflusses und der Energieverteilungsfunktion der auf die Oberfläche auftreffenden Ionen in Echtzeit mithilfe eines simulierten Substrats mit integrierten Sensoren, ggf. auch in Kombination mit einer integrierten Quarzkristallwaage (QCM), die zur Messung der Energieverteilungsfunktion der Ionen und des Anteils der ionenneutralen Abscheidung an der Oberfläche im Inneren des Plasmareaktors verwendet wird. Das Produktangebot umfasst die Systeme Semion RFEA System, Semion 3 keV System, Semion Pulsed DC, Quantum RFEA System und Vertex RFEA System.
Hauptmerkmale
- Sensorelemente und Halterung erhältlich in den Ausführungen Aluminium, eloxiertes Aluminium oder Edelstahl.
- Geeignet für geerdete, schwebende und HF-vorgespannte Betriebsbedingungen
- Möglichkeit zum Austausch von Sensorelementen mit unterschiedlichen Empfindlichkeiten im Bereich von 0,001 A m⁻² bis 700 A m⁻².
