Sonden von Impedans zur Messung wichtiger physikalischer Parameter des Volumenplasmas, wie z. B. des Plasmapotentials, der Dichte geladener Teilchen (Elektronen & Ionen) sowie die Elektronentemperatur – all dies gibt Aufschluss über das Verhalten des Plasmas während des eigentlichen Prozesses, wie z. B. der Abscheidung usw. Im Angebot finden Sie insgesamt zwei Sonden – die Langmuir-Sonde und die Plato-Sonde.
Der Vertrieb dieses Produkts beschränkt sich auf Tschechien und die Slowakei.
Für das sonstige Ausland bieten wir es ausschließlich als Teil integrierter Gesamtlösungen an.
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Sonden zur Messung der wichtigsten physikalischen Parameter des Plasmas im Volumen
OptiXs care
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