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Für das sonstige Ausland bieten wir es ausschließlich als Teil integrierter Gesamtlösungen an.

Impedanz

Sonden zur Erfassung von HF-Frequenzen

Name: Sonden zur Erfassung von HF-Frequenzen
Brand: Impedanz

Sonden zur Erfassung der HF-Frequenz, zur Messung des Arbeitszyklus in Echtzeit, zur Messung der Durchschnittsleistung, der Spannung, des Stroms und der Impedanz der Plasmaentladung sowie zur HF-Impulsüberwachung von Impedans. Das Portfolio umfasst insgesamt sechs Produkte: Octiv Mono 2.0, Octiv Poly 2.0, Octiv Suite 2.0, Moduli RF Spectrometer, Moduli RF Event Detector und Alfven | Plasma Arc Detector | Pulsed RF Monitoring.

Fachberater

Ing. Martin Klečka

+420 607 014 278

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Produkte

Octiv Mono 2.0

HF-Leistungsmesser, Richtleistungssensor und Impedanzanalysator. Das System misst eine Grundfrequenz und verfügt über eine NIST-Genauigkeit von 1 %. Es handelt sich um einen Inline-Sensor, der zur Überprüfung der HF-Ausgangsleistung von HF-Generatoren, zur Anpassung des Impedanzbereichs und des Wirkungsgrads des Geräts sowie für allgemeine Messungen am Stromzähler verwendet wird.

Hauptmerkmale:

Automatische Umschaltung zwischen CW- und gepulster HF-Überwachung im Zeitmittelwertmodus (TAM).
Erfasst die Pulsfrequenz und den Arbeitszyklus mit einer Genauigkeit im Submikrometerbereich im TAM-Modus.
Zeitaufgelöster Modus mit einer Auflösung von 1 Mikrosekunde für eine detaillierte Verlaufsanalyse.
2 Einsatzvarianten: eigenständig oder integriert in jede Softwareplattform, die das Impedans-Kommunikationsprotokoll nutzt.

Octiv Poly 2.0

Multifrequenz-Inline-HF-System zur Messung von Spannung, Strom und Phase mit Netzwerkkommunikation (Ethernet, EtherNet/IP oder EtherCAT). Geeignet zur effektiven Behebung von Problemen wie Fehlern bei der Endpunkt-Erkennung und überflüssiger vorbeugender Wartung.

Hauptmerkmale:

Auswahl aus 5 Frequenzen innerhalb eines Sensors mit bis zu 15 Oberschwingungen pro Frequenz.
Unübertroffene Leistungsgenauigkeit bei einer Lastimpedanz von 50 Ω und anderen Werten als 50 Ω dank fortschrittlicher Kalibrierung mit einer Genauigkeit von 1 %.
Wiederholgenauigkeit des Sensors <0,1 %.
Frequenzüberwachung mit bis zu ± 10 % der Grundfrequenz als Standard, mit Anpassungsmöglichkeit zur Überwachung der Intermodulationsfrequenz.

Octiv Suite 2.0

Einer der fortschrittlichsten HF-Sensoren auf dem Markt zur Inline-Messung von Leistung und Impedanz, mit unübertroffener Genauigkeit und Funktionalität. Es handelt sich um einen nicht-invasiven Inline-Sensor zur Überwachung aller HF-Leistungsparameter, wie beispielsweise des Ionenflusses.

Hauptmerkmale:

Auswahl aus 5 Frequenzen innerhalb eines Sensors mit bis zu 15 Oberwellen pro Frequenz.
Unübertroffene Genauigkeit bei einer Lastimpedanz von 50 Ω und anderen Werten als 50 Ω dank fortschrittlicher Kalibrierung mit einer Genauigkeit von 1 %.
Wiederholgenauigkeit des Sensors <0,1 %
Ein- und Mehrfrequenzspannung mit Kurvenanzeige.
Die Überwachung des Ionenflusses liefert eine direkte Korrelation mit dem Ätz- und Abscheidungsgrad.
2 Einsatzvarianten: eigenständig oder integriert in jede Softwareplattform, die das Impedans-Kommunikationsprotokoll nutzt.

RF-Spektrometer-Module

Ein Hochfrequenzdetektor (RF), der die vom Plasma erzeugten Oberwellenfrequenzen direkt überwacht. Er dient zur Erkennung des Endpunkts und von Produktfehlern wie Kammerundichtigkeiten, Waferverschiebungen und anderen schwerwiegenden Plasmafehlern.

Wichtigste Merkmale:

Auswahl aus 5 Frequenzen innerhalb eines Sensors mit bis zu 15 Oberwellen pro Frequenz.
Vollständig nicht-invasiv – die Systemintegration ist ohne Änderungen an bestehenden Systemen möglich.
USB, Ethernet, EtherCAT mit einfacher API- und FDC-Integration.

RF-Ereignisdetektor-Module

Ausgeklügeltes All-in-One-Diagnosesystem zur Erkennung von Plasmabögen und zur Überwachung von HF-Impulsen. Die Systemarchitektur ermöglicht die Verarbeitung von HF-Messungen in Echtzeit mit einer Auflösung im Mikrosekundenbereich. Das System ist so konzipiert, dass es gleichzeitig Plasma-Lichtbögen erkennt und charakterisiert, jeden HF-Impuls überwacht und überprüft, ob jeder Impuls den vordefinierten Spezifikationen entspricht.

Hauptmerkmale:

1-μs-Auflösung für Plasmabögen und atypische Impulse (mit anpassbarem Rauschfilter).
Konfigurierbare Widgets zur Klassifizierung von Plasmabögen und Impulsen.
Überwachung des Arbeitszyklus, der Impulsfrequenz und der Impulsdauer jedes einzelnen Impulses.
Meldung von Abweichungen von benutzerdefinierten Spezifikationen.
EIN-AUS- und mehrstufige Pulsierung (bis zu 3 Stufen).
Protokollierung von Maximal-, Minimal- und Durchschnittswerten von Strom und Spannung während der Impulse.

Alfven | Plasma-Lichtbogen-Detektor | Pulsierte HF-Überwachung

Alfven | Plasma-Lichtbogen-Detektor | Überwachung gepulster HF-Signale

Ausgeklügeltes All-in-One-Diagnosesystem zur Erkennung von Plasmabögen und zur Überwachung von HF-Impulsen. Die Systemarchitektur ermöglicht die Verarbeitung von HF-Messungen in Echtzeit mit einer Auflösung im Mikrosekundenbereich. Das System ist so konzipiert, dass es gleichzeitig Plasma-Lichtbögen erkennt und charakterisiert, jeden HF-Impuls überwacht und prüft, ob jeder Impuls den vordefinierten Spezifikationen entspricht.

Hauptmerkmale:

1-μs-Auflösung für Plasma-Lichtbögen und atypische Impulse (mit anpassbarem Rauschfilter).
Konfigurierbare Widgets zur Klassifizierung von Plasmabögen und Impulsen.
Überwachung des Arbeitszyklus, der Impulsfrequenz und der Dauer jedes Impulses.
Meldung von Abweichungen von benutzerdefinierten Spezifikationen.
ON-OFF- und mehrstufiges Pulsieren (bis zu 3 Stufen).
Meldung von Maximal-, Minimal- und Durchschnittswerten von Strom und Spannung während der Impulse.

Hergestellt von OptiXs

FODL-MDX

Sonden zur Erfassung von HF-Frequenzen

Produkte

Octiv Mono 2.0

Hauptmerkmale:

Octiv Poly 2.0

Hauptmerkmale:

Octiv Suite 2.0

Hauptmerkmale:

RF-Spektrometer-Module

Wichtigste Merkmale:

RF-Ereignisdetektor-Module

Hauptmerkmale:

Alfven | Plasma-Lichtbogen-Detektor | Überwachung gepulster HF-Signale

Hauptmerkmale:

Dokumente

Modul RFevent_BR-0014-02

Moduli_DS-0009-02-Compressed

ModuliRFspec_BR-0009-03

Octiv-Suite_DS-0003-07

OctivSuite_BR-0003-09

Octiv-Poly_DS-0002-06

OctivPoly_BR-0002-09

OctivMono_BR-0001-11

Octiv-Mono_DS-0001-05

Alfven_DS-0004-02

Alfven_BR-0004-06

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